반도체 및 스프레이 센싱

PPS 촉감 감지 기술(Tactile Sensing) 기술은 반도체 제조업체들이 제조 공차를 개선하고 보다 정밀하고 정확하게 웨이퍼를 생산할 수 있도록 했다. 이런 저압 센서 적용은 반도체 연마 디스크 압력을 최적화하는 동시에 틸트 오류를 크게 줄여 제품 수율을 개선하였다. 스프레이 센서를 사용하면 웨이퍼 클리닝는 스프레이의 분사 패턴과 분포를 정밀 측정하여 최적의 분사력을 식별해 웨이퍼 손상 가능성을 낮추고 웨이퍼 세정을 제대로 할 수 있도록 합니다. 스프레이 센서의 초저압 감도를 통해 세정 스프레이, 에어로졸 노즐 및 저압 또는 패턴 분배를 포함한 기타 용도의 정밀 측정, 테스트 및 정교화가 가능하다

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스프레이(Spray)

스프레이 노즐 패턴과 압력을 시각화하고 수량화한다.

  • 즉각적이고 실행 가능한 스프레이 패턴과 스프레이 된 유체 또는 가스에 의해 생성 된 스프레이 압력 데이터를 캡처하도록 설계된 민감한 방수 정전용량형 촉각 센서 어레이입니다.

  • 스프레이 분포 및 차력을 캡처하고 스프레이 된 유체 또는 가스가 안착하는 위치와 패턴을 정확하게 식별합니다.

  • 스프레이 압력 또는 스프레이 패턴이라는 두 가지 용도 모델로 제공되며, 스프레이 압력이 극히 작은 상황에서 사용하기에 적합합니다.

 

언론 보도

 
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