응용 사례
반도체 산업용
PPS의 촉감 감지 기술을 통해 고도의 정밀도와 정확성을 요구하는 반도체 제조 라인의 수율을 개선 할 수 있습니다. 웨이퍼 연마 디스크의 압력을 최적화하거나 모니터링하여 생산품질을 개선하고, 웨이퍼를 운반하는 로봇의 접촉을 세밀히 분석할 수 있으며, 스프레이 센서를 이용해 세정 스프레이가 균일한 압력과 분포형태를 유지하고 있는지 판단하거나, 유량에 따른 스프레이의 실질 타력과 패턴을 확인해 세정 성능과 수율과의 관계를 분석할 수 있습니다.